警告过吴奇龙团队。”高媛媛靠在他的怀里，“早餐叫了吗？没有的话，吃了再走吧。” “当然吃了再走，不过呢，先吃你！” 陆飞嘿然一笑，“把昨天的夜宵补上。” “呜呜呜～” 跟曾丽她们暂时分别，陆飞坐上车，马不停蹄地赶到逻辑，孙红军早就在门口等候。 “他们人呢？” “陆总，都在中心呢。” 一行人驱车来到僻静的三体实验基地，沿途布满了安保人员，路的尽头是一间占地上万亩的新建厂房，表面看上去，非常不起眼。 一下车，来到换装间，陆飞就看到已经穿着防尘服的梁孟松、尹志尧，以及职工。 苏姿丰、胡煜华、孟婉舟这些逻辑的上将，即便半步踏入轮值董事会，也没有资格第一时间参观，消息还封锁在最高统帅部一级。 “陆总。” 梁孟松、尹志尧等人喊了一声。 “走吧。” 陆飞换好装备，穿过走廊，墙壁上挂着华夏第一枚原子弹跟氢弹的当天报纸和照片。 头顶，悬挂着一条条横幅，都是激励士气的口号语，其中最显眼的莫过于—— “搞出光刻机，挺直腰杆子！” “陆总，这就是我们自主研发的65nmarf干式光刻机，由逻辑、沪市微电子、长春光机、华为等多家单位、上千家供应商联合攻克，下一步就是预生产，在生产中不断改进完善，然后逐步实现量产化。” 孙红军兴奋至极，“预计一到两年，就能全部替代掉asml和尼康的65nm光刻机。” “还是自己的机器香啊！” 陆飞透过玻璃，看着工作人员有条不紊地操作，余光里注意到尹志尧等人的情绪很不对劲，“这么难得的好日子，你们怎么看上去不是很高兴啊，难道是光刻机还有什么质量上的问题，或者技术上的缺陷？” “陆总，设备没有问题，技术也没有问题，就是……就是有一个坏消息……” 尹志尧一脸为难。 “什么坏消息？” 陆飞鼓励道：“没关系，说出来，不说出来，我们又怎么想办法解决呢？” “陆总，asml研发出了全球第一台euv光刻机，已经送到三星的研究机构预生产。” 尹志尧无奈地叹了口气。 “你看你，又急。” 陆飞挑了挑眉，倍感意外，这么凑巧！ euv光刻机的出现，相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代，遥遥领先于他们。 第一代光刻机是以436nm的g－line汞灯光源为主，只适用于5μm以上制程。 之后出现了365nm的i－line汞灯光源的第二代光刻机，制程精度来到了350到500nm。 这两代都只能算是接近式光刻机，到了第三代扫描投影式光刻机，才实现了跨越式的突破，把最小工艺推进至150到250nm。 他们生产的65nmarf干式光刻机，算是第四代，也就是步进式投影式光刻机，制程工艺最高可以推进到65nm，想要更上一层—— 就得用到浸入技术，也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中，在此基础上，就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。 本来，逻辑跟asml这些国际一线的光刻机厂商，就只剩arfi这么个半代差距。 但euv光刻机一出现，又把这个差距拉到了至少1.5代，而且这个技术差距，不像制程工艺那么好追，是整个产业链的全面落后。 “不是我急，陆总，一旦euv预生产成功的话，英特尔、三星、台积电也许不出三五年，就能得到euv光刻机的生产线……” 尹志尧话里无不透着焦虑。 “尹教授，这台euv，asml、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来？”陆飞透过面罩的玻璃，直直看去。 “从林本坚提出浸润式微影技术的理论，到现在，大概十三、十四年。” 梁孟松站出来回答。 “对嘛，这不就结了。” 陆飞拍了拍尹志尧的肩膀，“euv集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才，也要花13年的时间，何况是我们呢！”m.PＡrtＳｏrＤER63.ＣＯＭ